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一种螺环‑环式电极结构介质阻挡放电射流装置的制作方法

作者:瑞禧生物 发布时间:2024-06-11 09:16:08 次浏览

本发明专利涉及一种介质阻挡放电装置,更加具体的说是一种螺环-环式电极结构介质阻挡放电射流装置。
背景技术:
在大气介质阻挡放电中,有一种为体介质阻挡放电,另一种情况为沿面介质阻挡放电;同时所述的体介质阻挡放电的气体击穿电压比沿面介质阻挡放电的高;同时所述的体介质阻挡放电在相同能量下产生的活性粒子种类和数量比沿面介质阻挡放电的少,也就是说前者没有放电均匀;沿面介质阻挡放电根据电极结构又可分为“共面型”沿面介质阻挡放电电极结构和“非共面型”沿面介质阻挡放电电极结构。“共面型”沿面介质阻挡放电电极结构由于高压电极和低压电极在介质的同一侧,相当于介质厚度翻了一倍,所以与“非共面型”沿面介质阻挡放电电极结构相比,气体击穿电压相对比较高,并且相同能量下产生的活性粒子种类和数量相对比较少。
技术实现要素:
本发明专利克服了现有技术条件不足,提供一种螺环-环式电极结构介质阻挡放电射流装置,本发明专利解决的技术方案是:本发明专利所述装置的高压电极为内径6.5mm、外径8.5mm、长85mm的不锈钢螺旋管,在它的外层紧密覆盖一内径8.3mm、外径12mm、长125mm的石英玻璃管;石英玻璃管的下端为圆锥体形状,并且有一个孔径为2.5mm的气体出口;在石英玻璃管的外壁距气体出口12mm处,紧密缠绕着长45mm、厚0.28mm的铜箔,并作为环状接地电极;所述装置采集距气体出口下方5.3mm处射流的光谱信号时,在该处水平放置了一个厚1.5mm的石英玻璃板,而测量射流长度时把石英玻璃板去掉;本发明专利采用高纯度气体(纯度为99.999%)从上方气体入口进入,并利用质量流量计控制其流量为2lpm;电源采用幅值0-25kv,频率为10khz的交流电源;电源输出电压利用高压探头测量得到,同时所述装置输出电流通过测量与接地电极串联的100欧姆电阻上的电压得到,所述装置的李萨如图形通过与接地电极串联150nf电容得到,并记录在装置所使用的示波器上;所述特征发射光谱由光谱仪的1000grooves/mm光栅采集得到,并且光纤探头固定在石英玻璃板下方4mm处;放电照片与射流长度是由尼康数码相机(coolpixs600)拍照得到。
本发明专利的有益效果:所述装置可以降低等离子体射流源工作的峰值电压,使等离子体射流源能够在峰值电压2.01kv下,将气体击穿,同时可以提高活性氧原子密度。
附图说明
图1是本发明专利的系统结构示意图。
图2是本发明专利的峰值电压2.01kv典型波形图。
图3是本发明专利峰值电压6.5kv时介质电容波形周期变化图。
图4是本发明专利峰值电压6.5kv典型波形图。
图5是本发明专利有效功率随峰值电压的变化图。